مواد با ویژگی اکسید شوندگی زیاد
در بین موادی که با سیستم های لایه نشانی در خلاء تبخیر می شوند، بعضی قابلیت اکسید شوندگی بسیار بالایی دارند. در صورتی که این مواد در مجاورت مقدار کمی از اکسیژن قرار گیرند، سریع واکنش می دهند. سپس آنها به صورت کامل از بین می روند. لیتیوم یکی از موادی است که میل اکسید شوندگی بسیار بالایی دارد. از طرف دیگر این فلز قلیایی و ترکیبات آن کاربردهای فراوانی در صنعت دارد. مثلا این فلز برای ساخت باتری های قابل شارژ که در تلفن های هوشمند، تبلت ها و … استفاده می شوند به کار برده می شود. بهترین روش برای لایه نشانی این مواد استفاده از لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی است.
در لایه نشانی این فلز با روش های اسپاترینگ یا تفنگ الکترونی به علت نقطه ذوب پایین آن، کنترل نرخ لایه نشانی بسیار دشوار خواهد بود. به منظور لایه نشانی مناسب لیتیوم، آلیاژ ها و یا ترکیبات آن باید از فرایند اکسید شدن در حین لایه نشانی جلوگیری کرد. در صورتی که لیتیوم اکسید شود برای تبخیر شدن به مقدار توان بالاتری نیاز دارد تا لایه اکسیدی ایجاد شده روی این فلز را بشکند و آن را ذوب کند. این توان بالا موجب تبخیر ناگهانی لیتیوم می شود که کنترل شده نیست. برای جلوگیری از اکسید شدن، لیتیوم باید در محیط گاز بی اثری مثل آرگون یا روغن قرار گیرد.
دستگاه تبخیر حرارتی DTT
برای این منظور شرکت پوشش های نانوساختار این امکان را فراهم ساخته است تا دستگاه لایه نشانی به روش تبخیر حرارتی مدل DTT قابلیت تجمیع با یک Glovebox را داشته باشد تا مانع از اکسید شدن موادی مانند لیتیوم در حین انتقال به دستگاه لایه نشانی شود. در صورتی که قصد لایه نشانی مواد اکسید شونده را به روش تبخیر حرارتی دارید حتما مشخصات لایه نشان به روش تبخیر حرارتی مدل DTT ساخت شرکت پوشش های نانو ساختار را ملاحظه نمایید.
